每日快播:西安奕材获得实用新型专利授权：“压力测量装置”

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根据企查查数据显示西安奕材（688783）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“压力测量装置”，专利申请号为CN202522660388.4，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本实用新型提供一种压力测量装置，应用于晶圆边缘抛光装置，边缘抛光装置包括抛光鼓，以及与抛光鼓枢接的多个连接杆，每个连接杆的两端分别设置有抛光垫和配重锤，压力测量装置包括：多个压力传感器，多个压力传感器与多个抛光垫一一对应设置，以用于实时监测对应的抛光垫对晶圆施加的压力，且多个压力传感器设置于抛光鼓上，以与抛光鼓同步转动。在旋转的抛光鼓上，模拟其内部离心配重机构的力学环境，将一个已知质量的测量用配重的离心力，通过一个受约束的杠杆机构，转化为对一个压力传感器的正压力进行测量，从而反推出在同等转速下，实际抛光机构所产生的离心压力，从而使得抛光垫施加于待抛光晶圆上的压力可测量。

今年以来西安奕材新获得专利授权110个，较去年同期增加了182.05%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.22亿元，同比减4.99%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目13次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1684条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：企查查

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